微小流量質量流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣等清潔氣體的流量，微小流量質量流量計主要應用于半導體、電子、化工、醫藥、食品等產品制造過程中氣體流量的檢測及控制，醫院氧氣消耗量計量、實驗室氣體流量的檢測等，微小流量質量流量計口徑小至1mm，螺紋連接。

　　微小流量質量流量計采用熱質量氣體流量傳感芯片，屬于質量流量傳感方式的微小流量計，微小流量質量流量計是通過氣體流動產生的熱場變化來測量氣體流量，由于不同質量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，所以微小流量質量流量計所測的數據為質量流量。

　　微小流量質量流量計不同于傳統的“熱傳感器”方式采用了多個熱傳感器和多個熱源來測量氣體的質量流量（風速式熱質量流量原理），微小流量質量流量計采用了多個熱傳感器和一個微熱源（量熱式熱質量流量原理），大大減少了環境對測量的影響。微小氣體質量流量計的熱源十分微小，幾乎不需要時間進行加熱。傳感器插入在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環境無影響，不會因此引起氣體對流而導致零點變化。所以，微小流量質量流量計具有極短的響應時間和優良的零點穩定性。

　　微小流量質量流量計主要特點：

　　1、微小流量質量流量計采用微機電系統芯片作為傳感器，微小流量質量流量計的靈敏度*同時具有良好的零點穩定性；

　　2、單個芯片上實現多傳感器集成，使該微小流量計的量程比大于100：1；

　　3、和傳統的機械式流量計比較，壓力損失大幅減小，極大的降低了能源消耗；

　　4、微小流量質量流量計采用LCD顯示瞬時流量和累積流量，清晰直觀，讀數方便；

　　5、微小流量計帶有RS-485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理；

　　6、可以選配4-20mA DC電流信號輸出；

　　7、通過國家專業認證，標志為ExiaIICT4。

　　微小流量質量流量計專門為需要顯示器和表體分離的應用需求而設計的，例如醫院供氧系統小型空分系統，微小流量質量流量計的標準工業用戶界面(RS485/4~20mA)及用戶自定報警功能更好實現的異地或網絡監控，HLB系列現有的產品是HLB-12和HLB-19可分別測量0-300SLPM和0-800SLPM氣體流量。微小流量質量流量計是孔板流量計理想的替代產品.微小流量質量流量計是基于卡門渦街原理而研制成功的一種具有先進水平的新型流量計，由于微小流量質量流量計具有其它流量計不可兼得的優點，自七十年代以來得到了迅速發展，據有關資料顯示，現在日本、歐美等發達國家使用渦街流量計的比例大幅度上升，微小流量質量流量計已廣泛應用于各個領域，微小流量質量流量計將在未來流量儀表中占主導地位.

　　微小流量質量流量計適用測量過熱蒸汽、飽和蒸汽、壓縮空氣和一般氣體、水和液體的質量流量和體積流量.

　　微小流量質量流量計是采用成熟可靠的感應壓電傳感器技術，其根據工況特性需求可以將流速、流量（或將工況溫度、壓力檢測優化一體），充分體現了當今機電一體化產品的高科技性及其性價比。該儀表系統數據處理采用Microchip的MCU技術并結合現代微電子工藝研制開發一種高可靠、準確度高的工業流量測控儀表。微小流量質量流量計廣泛應用于封閉管道中蒸汽、氣體和液體介質流量的計量。

　　微小流量質量流量計是根據卡門（Karman）渦街原理測量氣體、蒸汽或液體的體積流量、標況的體積流量或質量流量的體積流量計。在流體中設置三角柱型旋渦發生體，則從旋渦發生體兩側交替地產生有規則的旋渦，這種旋渦稱為卡門旋渦，旋渦列在旋渦發生體下游非對稱地排列。為了微小流量質量流量計使用方便，電池供電的本地顯示型微小流量質量流量計采用微功耗高新技術，微小流量質量流量計采用鋰電池供電可不間斷運行一年以上，節省了電纜和顯示儀表的采購安裝費用，可就地顯示瞬時流量、累積流量等。溫度補償一體型微小流量質量流量計還帶有溫度傳感器，可以直接測量出飽和蒸汽的溫度并計算出壓力，從而顯示飽和蒸汽的質量流量。溫壓補償一體型帶有溫度、壓力傳感器，用于氣體流量測量可直接測量出氣體介質的溫度和壓力，從而顯示氣體的標況體積流量。