Alicat氣體質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于需要有截止功能應(yīng)用的場合，如真空鍍膜及磁控濺射工藝，這個閥是常閉閥，擁有低的泄漏率。

一、Alicat氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點

1、50毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達新的設(shè)定值。快速、可重復、穩(wěn)定！

擁有可靠的穩(wěn)定性及響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器總是一擊擊中，為快的質(zhì)量流量控制器！采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術(shù)與高速比例控制閥相結(jié)合，使得到達設(shè)定值的速度遠遠快過您眨一下眼。

2、操作便捷

?     50-100毫秒控制響應(yīng)

?     允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得的速度和穩(wěn)定性

?     定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

?     同一臺設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力

?     瞬間啟動、無需預(yù)熱：1秒內(nèi)即可開始流量控制

二、Alicat氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標準系列

控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航空航天、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的選擇；大量程：0-500 slpm。點擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業(yè)系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設(shè)計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ，專門用于真空應(yīng)用。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點擊這里了解更多關(guān)于半導體行業(yè)系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

*雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

三、Alicat氣體質(zhì)量流量控制器常用選配項

?     后置閥門，優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制

?     批量控制模式，依靠快速的閥門響應(yīng)來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認證1類2區(qū) / ATEX認證1類2區(qū)允許設(shè)備用于危險環(huán)境

?     9針或15針D-Sub等連接接口可選

?     通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

四、Alicat氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)