測泄漏，質量流量計常用于測量閥門泄漏，響應時間快，10ms，并且帶本地顯示，客戶無需再接其他顯示儀表或控制軟件，可測微小流量，Z低量程為0.5SCCM。

一、測泄漏，質量流量計產品性能

標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
內置30種氣體可選
200:1量程可調比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到4000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保
可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（多4種）
定制流量范圍

二、測泄漏，質量流量計產品特點

操作簡單

Alicat 質量流量計(M系列)作為一個獨立設備，帶有多功能數字顯示屏，用戶可通過面板按鈕調節參數，無需連接但腦或其他任何復雜的編程軟件。

測量精確

標準型Alicat 質量流量計(M系列)的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精選配項則可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性價比

Alicat帶顯示質量流量計(M系列)本身耗電極小，從而降低了系統運營的成本，且相比與同類產品，其壓損亦相對較小，降低壓損意味著更多氣體進入到系統中，而不是停留在測量儀器中。除質量流量外，M系列質量流量計還可同時測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量，是監控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。

性能

M系列質量流量計可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，配有多種模擬信號輸出及RS-232數字信號輸出。該系列質量流量計亦有便攜式型號(MB系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款二等標準流量校準設備。

反應靈敏

10毫秒典型反應時間，意味著Alicat 質量流量計的響應速度比您的眨眼速度至少快兩倍。

體積嬌小

Alicat帶顯示質量流量計嬌小的本體使其極易被安裝于系統中或作為一款單獨的校準設備隨身攜帶。

高重復性

Alicat 的技術使得質量流量計幾乎沒有可移動部件，所有零件都被內置固定，腔體內不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。M系列質量流量計的重復性可達±0.2% F.S。

值得信賴

現有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領域中，如：科學研究、泄漏測試、環境監測、真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。

三、性能參數